中文
真空物理吸盘是针对大尺寸晶圆和玻璃基板ODF真空贴合设备的核心器件。可以保证在高真空(<0.3Pa)环境下玻璃基板的高精度(≤0.2μm)贴合。其通过气囊充气脱附,自动化程度高。
真空物理吸盘是针对大尺寸晶圆和玻璃基板ODF真空贴合设备的核心器件。可以保证在高真空(<0.3Pa)环境下玻璃基板的高精度(≤0.2μm)贴合。其通过气囊充气脱附,自动化程度高。
PSC物理吸盘是针对大尺寸晶圆和玻璃基板ODF真空贴合设备的核心器件。可以保证在高真空(<0.3Pa)环境下玻璃基板的高精度(≤0.2μm)贴合。
PSC物理吸盘是针对大尺寸晶圆和玻璃基板ODF真空贴合设备的核心器件。可以保证在高真空(<0.3Pa)环境下玻璃基板的高精度(≤0.2μm)贴合。