产品介绍
真空物理吸盘是针对大尺寸晶圆和玻璃基板ODF真空贴合设备的核心器件。可以保证在高真空（＜0.3Pa）环境下玻璃基板的高精度（≤0.2 μm）贴合。其通过气囊充气脱附，自动化程度高。
产品说明
| 编号 | 条目 | 单位 | 指标 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 材料 | - | 橡胶 | 聚酯工业橡胶 |
| 2 | 使用寿命 | 次 | 100万次 | —— |
| 3 | 平整度 | μm | ＜10 μm | 激光测定 |
| 4 | 黏着力 | N | 25 | 10 N预压力，石英玻璃 |
| 5 | 使用温度 | ℃ | ＜90 ℃ | 温度越高，黏附力越低 |
| 6 | 清洁方法 | - | IPA/Ethanol | 用无尘布擦拭处理，不可浸泡 |
产品优势
| - | 静电吸附 | 物理吸附 |
|---|---|---|
| 吸附原理 | 库仑力 | 分子间作用力 |
| 接触材料 | 聚酰亚胺 | 带微结构橡胶 |
| 贴合精度 | 受静电力残留和影响会发生中心偏移 | 非常稳定 |
| 吸附时间 | 毫秒至秒级，受充放电及介电极化影响 | 毫秒级，接触即响应 |
| 静电 | 易发生 | 无静电 |
| 故障相关 | 异物影响大，易发生故障，更换不变 | 异物影响小，易更换，故障率低 |
产品应用领域
应用行业：LCD， OLCD， SEMICON
应用工艺：真空贴合，真空镀膜，先进封装，晶圆搬运
应用设备：真空贴合机，PVD，CVD，封装设备
应用对象：玻璃，硅片，陶瓷，薄膜
