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晶圆搬运真空吸盘

产品介绍

机械真空吸附通过真空泵创建负压环境，真空泵用于从吸附区域抽气，从而降低压力，通过在晶圆与吸附盘之间产生真空区域来固定晶圆。通常需要来确保吸附区域的密封，防止外界空气进入，这样可以产生足够的吸力来稳定地吸附晶圆。同时要求吸盘本身不和晶圆发生自粘和印记析出，这样可以保证晶圆的无损释放。

产品规格

产品应用领域

应用行业:自动化领域,搭配机械管。

应用工艺:晶圆搬运。