产品介绍

晶圆搬运真空吸盘基于负压吸附原理，通过真空泵抽出吸附区域内的空气，在吸盘与晶圆之 间形成稳定负压，实现晶圆的可靠固定。产品具有良好的密封性能，可有效维持吸附力；同时具备低自黏、低析出、无印记等特性，确保晶圆稳定搬运并顺利释放，减少对晶圆表面的损伤与污染。该产品可搭配机械臂、晶圆叉手等自动化设备，实现晶圆的高效搬运与无人化作业。

应用场景

真空吸盘搭载于晶圆传输机械手末端，配合负压发生系统，实现晶圆的稳定吸附、精准定 位、平移搬运与翻转传输。产品能够适应自动化晶圆搬运过程中的高洁净度与高可靠性要求， 具有超低法向黏片、低析出、无印记等特性。