应用场景
真空吸盘搭载于晶圆传输机械手末端，搭配负压发生系统，实现晶圆的稳定吸附、精准定位、平移搬运与翻转传输。产品能够适应自动化晶圆搬运过程中的高洁净度与高可靠性要求，具有超低法向黏片、低析出、无印记等特性。
技术规格
