| 编号 | 条目 | 指标 |
|---|---|---|
| 1 | 型号 | ADFR-FT4 |
| 2 | 材质 | ADFR-Polymer |
| 3 | 尺寸 | 外径φ8mm,内径中4mm |
| 4 | 摩擦系数 | 晶圆表面(镜面)>4;晶圆表面(Ra 0.3)>3 |
| 5 | 法向粘附力 | 晶圆表面≤0.1N/cm |
| 6 | 寿命 | 一年,可循环次数受具体使用场景影响幅度较大 |
| 7 | 工作温度 | 长期:-40°C~260℃C |
| 8 | 工作气压 | 常压或真空环境 |
| 9 | 产品工作环境洁净度 | Class 100级及以上超净间 |
| 10 | 适用晶圆材质 | Si,Sapphire,Glass,LiTa02,Si02 |
| 11 | 适用基板形状 | 圆形,方形,环形 |
