产品功能
FFKM摩擦垫用于晶圆机械手在特殊环境工艺下的传输止滑，通过高性能基材匹配与特殊的 结构设计，兼具高切向摩擦力和低法向黏附力，可提升晶圆搬运的效率和稳定性，尤其适合 PVD/CVD薄膜工艺，刻蚀设备、湿法设备等高温、高腐蚀性设备环境使用。
产品规格
| 编号 | 条目 | 指标 |
|---|---|---|
| 1 | 型号 | ADFR-FT4 |
| 2 | 材质 | ADFR-Polymer |
| 3 | 尺寸 | 外径Φ8mm，内径Φ4 mm |
| 4 | 摩擦系数 | 晶圆表面（镜面）≥4；晶圆表面（Ra 0.3 μm）≥3 |
| 5 | 法向粘附力 | 晶圆表面≤0.02N |
| 6 | 寿命 | 一年/100万次*，先到为准 |
| 7 | 工作温度 | 长期:-40 °C~260 ℃ |
| 8 | 工作气压 | 常压或真空环境 |
| 9 | 产品工作环境洁净度 | Class 100级及以上超净间 |
| 10 | 适用晶圆材质 | Si、Glass、SiN、SiO2、陶瓷 |
| 11 | 适用基板形状 | 圆形,方形,环形等 |
