应用场景
适用于PVD/CVD薄膜沉积、刻蚀和湿法处理等高温、高腐蚀性工艺设备中的晶圆传输机械手，实现晶圆稳定传输，具有超低法向黏片、低析出、无印记等特性。
技术规格
| 编号 | 条目 | 指标 |
|---|---|---|
| 1 | 型号 | ADFR-FT4 |
| 2 | 材质 | ADFR-Polymer |
| 3 | 尺寸 | 外径Φ8 mm，内径Φ4 mm |
| 4 | 摩擦系数 | 晶圆表面（镜面）≥4；晶圆表面（Ra 0.3 μm）≥3 |
| 5 | 法向粘附力 | 晶圆表面≤0.02 N |
| 6 | 寿命 | 一年/100万次*，先到为准 |
| 7 | 工作温度 | 长期:-40 °C~260 ℃ |
| 8 | 工作气压 | 常压或真空环境 |
| 9 | 产品工作环境洁净度 | Class 100级及以上超净间 |
| 10 | 适用晶圆材质 | Si、Glass、SiN、SiO2、陶瓷 |
| 11 | 适用基板形状 | 圆形,方形,环形等 |
