| 编号 | 条目 | 指标 |
|---|---|---|
| 1 | 型号 | ADSR-F15(常温款);ADSR-HFT15(高温款) |
| 2 | 法向粘附力 | 晶圆表面≤ 0.15N/cm’ |
| 3 | 尺寸 | 外径中15mm,内径ф5mm,厚度0.5~2mm(可定制) |
| 4 | 摩擦系数 | 常温~100°C晶圆表面>2;超过100°C时> 1.5 |
| 5 | 工作温度及寿命 | 长期常温~260°C(短时),1年 |
| 6 | 适用环境 | 常压/真空,洁净度Class1000 级及以上超净间 |
| 7 | 适用晶圆形状 | 圆形/方形/环形 |
| 8 | 适用晶圆材质: | Si,Sapphire,Glass,LiTa02,Si02 |
高切向摩擦力,低法向黏附力;
使用便捷,操作简单,可重复使用;
耐受高温，性能稳定;
低印记残留，不损伤搬运表面。
