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仿生被动增摩垫-晶圆搬运

一、产品简介l产品名称：仿生被动增摩垫（英文名：Passive Pad）l品牌：ADHESIONl功能：产品具有微米级仿生微结构阵列形貌特征，用作半导体晶圆搬运的被动增摩垫，可大幅度提升晶圆搬运的速度、效率和稳定性，解决一类半导体领域高摩擦、低黏附的通用界面操控问题。l特点：使用便捷，操作简单；耐受高温，性能稳定；低印记残留，不伤表面。二．产品性能参数l型号：ADSR-F15l尺寸：内径φ4mm，外径φ15mm，厚度1~2mm...

2023-01-06|337

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