PSC物理吸盘是针对大尺寸晶圆和玻璃基板ODF真空贴合设备的核心器件。可以保证在高真空（＜0.3Pa）环境下玻璃基板的高精度（≤0.2μm）贴合。
静电吸附 | 物理吸附 | |
吸附原理 | 库仑力 | 分子间作用力 |
接触材料 | 聚酰亚胺 | 带微结构橡胶 |
贴合精度 | 受静电力残留和影响会发生中心偏移 |
非常稳定 |
吸附时间 | 比物理吸附多5-10s | 120s以下 |
静电 | 易发生 | 无静电 |
故障相关 | 异物影响大，易发生故障，更换不变 | 异物影响小，易更换，故障率低 |
产品依赖 | 易受产品本身电气性影响 | 无影响，较稳定 |
产品编号：AD-PSC-AC16
产品编号：AD-PSC-AC16L
编号 | 条目 | 单位 | 指标 | 备注 |
1 | 材料 | 橡胶 | 聚酯工业橡胶 | |
2 | 使用寿命 | 年/次 | 3年/15万次 | 以先到为准 |
3 | 平整度 | μm | ＜10μm | 激光测定 |
4 | 黏着力 | N/cm2 | 18-25 | 10N预压力，石英玻璃 |
5 | 使用温度 | ℃ | ＜60℃ | 温度越高，黏附力越低 |
6 | 清洁方法 | - | IPA/Ethanol | 用无尘布擦拭处理，不可浸泡 |
产品编号：AD-PSC-AC28
AD-PSC-AC28真空物理吸盘是针对大尺寸晶圆和玻璃基板ODF真空贴合设备的核心器件。可以保证在高真空（＜0.3Pa）环境下玻璃基板的高精度（≤0.2μm）贴合。其通过气囊充气脱附，自动化程度高。
① 应用行业：LCD， OLCD， SEMICON
② 应用工艺：真空贴合，真空镀膜，先进封装，晶圆搬运
③ 应用设备：真空贴合机，PVD，CVD，封装设备，半导体机器人
④ 应用对象：玻璃，硅片，陶瓷，薄膜
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