微观形貌观测

●仪器简介

 奥林巴斯3D激光共聚焦显微镜LEXT OLS5000配备了彩色成像光学系统和激光共焦光学系统，可通过非破坏观察模式生成高画质的图像进行精确的3D测量，可测量亚微米级的形貌和表面粗糙度。

●项目信息

型号：OLS5000

测试项目：线粗糙度、面粗糙度、面角度、台阶、高度差、亚微米3D形貌等

测试样品：半导体、电子元件、模制部件或机械部件等

横向分辨率：0.12 um

●结果展示

1、高度和面角度测试

2、线粗糙度测试